Bagaimanakah tekanan operasi dalam mesin salutan magnetron mempengaruhi kualiti dan keseragaman salutan yang digunakan untuk substrat?
Tekanan operasi memainkan peranan langsung dalam mengawal kadar pemendapan bahan sputtered ke substrat. Pada tekanan yang rendah, jalan bebas min -jarak Atom yang berputar bergerak sebelum bertembu...