Analisis teknologi salutan penyejatan biasa- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Analisis teknologi salutan penyejatan biasa

1. Rintangan penyejatan rintangan: Sumber penyejatan rintangan digunakan untuk menguap bahan -bahan titik lebur yang rendah, seperti emas, perak, zink sulfida, magnesium fluorida, kromium trioksida, dan lain -lain.

2. Rasuk elektron penyejatan penyejatan : Selepas bahan filem dikurangkan dan disejat oleh pemanasan rasuk elektron, ia dipamerkan di permukaan substrat untuk membentuk filem, yang merupakan kaedah pemanasan penting dalam teknologi penyejatan vakum.

Terdapat banyak jenis peranti sedemikian. Dengan aplikasi teknologi filem nipis yang luas, bukan sahaja keperluan untuk jenis membran adalah pelbagai, tetapi juga keperluan untuk kualiti membran lebih ketat.

Penyejatan rintangan tidak lagi dapat memenuhi keperluan penyejatan beberapa logam dan bukan logam. Sumber haba rasuk elektron dapat memperoleh ketumpatan tenaga yang lebih besar daripada sumber haba rintangan, dan nilai dapat mencapai 104-109W/cm2, sehingga filem itu dapat dipanaskan hingga 3000-6000C.

Ini memberikan sumber haba yang lebih baik untuk menguap logam refraktori dan bahan bukan logam seperti tungsten, molibdenum, germanium, SiO2, ai2o3, dan sebagainya.

Di samping itu, haba boleh ditambah secara langsung ke permukaan bahan filem, jadi kecekapan terma tinggi, dan pengaliran haba dan kehilangan radiasi haba adalah kecil.

3. Pelapik penyejatan pemanasan arka: Kaedah pemanasan yang serupa dengan kaedah pemanasan rasuk elektron adalah kaedah pemanasan pelepasan arka. Ia juga mempunyai ciri -ciri untuk mengelakkan pencemaran bahan pemanasan rintangan atau bahan -bahan yang boleh dipakai, dan mempunyai ciri -ciri suhu pemanasan yang tinggi, terutamanya yang sesuai untuk penyejatan logam refraktori, grafit, dan lain -lain dengan titik lebur yang tinggi dan kekonduksian tertentu.

Pada masa yang sama, peralatan yang digunakan dalam kaedah ini lebih mudah daripada peranti pemanasan rasuk elektron, jadi ia adalah peranti penyejatan yang agak murah.

4. Penyejatan penyejatan rasuk laser: Kaedah menggunakan ketumpatan kuasa tinggi laser berdenyut untuk menguap bahan untuk membentuk filem nipis biasanya dipanggil penyejatan laser

5. Penyelarasan penyejatan pemanasan induksi frekuensi tinggi: Gunakan prinsip pemanasan induksi untuk memanaskan logam ke suhu penyejatan.

Bahan yang mengandungi bahan filem diletakkan di tengah-tengah gegelung lingkaran, dan arus frekuensi tinggi dilalui melalui gegelung, supaya bahan filem logam dapat menjana arus untuk memanaskan diri sehingga ia menguap.

Ciri -ciri Pemanasan Pemanasan Induksi Sumber:

1. Kadar penyejatan yang tinggi

2. Suhu sumber penyejatan adalah seragam dan stabil, dan tidak mudah untuk menghasilkan fenomena percikan drop aluminium

3. Sumber penyejatan dikenakan pada satu masa, tiada mekanisme pemakanan dawai diperlukan, kawalan suhu agak mudah, dan operasi mudah

4. Keperluan untuk kesucian bahan membran sedikit lebih luas.

Mesin salutan vakum penyejatan haba