Kaedah pengesanan kebocoran vakum biasa

Pengesanan kebocoran oleh spektrometri jisim helium

Teknologi ini adalah teknologi yang sangat diperlukan dalam bidang pengesanan kebocoran vakum. Ia digunakan secara meluas dalam pengesanan kebocoran kerana kecekapan pengesanan kebocoran yang tinggi, operasi mudah, tindak balas instrumen sensitif, ketepatan tinggi dan tidak Pembekal sistem salutan pvd China mudah diganggu oleh gas lain. Pengesan kebocoran spektrometer jisim helium adalah sejenis instrumen pengesanan ketegangan gas berdasarkan prinsip spektrometri massa, yang menggunakan helium sebagai gas penunjuk kebocoran. Ia terdiri daripada sumber ion, penganalisis, pengumpul, pengionan pengionan katod sejuk, ruang spektrometri massa, sistem ekzos dan bahagian elektrik. Elektron yang dipancarkan dari filamen dalam ruang spektrometri massa berayun ke belakang dan sebagainya di dalam bilik dan bertembung dengan gas dalaman dan helium memasuki bilik melalui lubang bocor untuk mengionkan ke dalam ion positif. Ion helium ini memasuki medan magnet di bawah otak kiri dan kanan medan elektrik yang dipercepatkan, dan memesongkan akibat tindakan daya Lorentz, membentuk orbit arka bulat dan mengubah medan elektrik dipercepat. Tekanan membolehkan ion jisim yang berbeza dapat dikesan dengan mencapai tiang penerimaan melalui medan magnet dan menerima slot. Kaedah suntikan helium dan kaedah penyerapan helium adalah dua kaedah yang biasa digunakan dalam pengesanan kebocoran spektrometer jisim helium.