Apakah komponen utama sistem salutan vakum?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Apakah komponen utama sistem salutan vakum?

1. Vacuum Chamber

peralatan salutan Terutamanya mempunyai dua bentuk: garis pengeluaran salutan berterusan dan mesin salutan tunggal ruang, pembuatan bahan keluli tahan karat, kimpalan arka argon, rawatan penggilap kimia permukaan, dan pelbagai spesifikasi antara muka flange dikimpal pada komponen ruang vakum.

2, bahagian pengambilalihan vakum

Dalam teknologi vakum, bahagian pengambilalihan vakum adalah bahagian penting. Pengambilalihan vakum tidak dapat dicapai oleh peralatan dan kaedah vakum tunggal. Beberapa pam mesti digunakan dalam kombinasi, seperti pam mekanikal, pam akar, sistem pam molekul, dll.

3, bahagian pengukuran vakum

Bahagian pengukuran vakum sistem vakum adalah untuk mengukur tekanan dalam ruang vakum. Seperti pam vakum, tiada tolok vakum dapat mengukur seluruh julat vakum, jadi orang telah membuat banyak jenis alat pengukur vakum mengikut prinsip dan keperluan yang berbeza. Seperti meter termokopel, meter pengionan, meter pirani, dll.

4. Bahagian bekalan kuasa

Bekalan kuasa sasaran terutamanya termasuk bekalan kuasa DC, bekalan kuasa frekuensi pertengahan, bekalan kuasa nadi, dan bekalan kuasa frekuensi radio (RF). Pengilang bekalan kuasa biasa termasuk AE, ADL, Hottinger, dll.

5. Proses sistem input gas

Proses gas, seperti Argon (AR), Krypton (KR), nitrogen (N2), acetylene (C2H2), metana (CH4), hidrogen (H2), oksigen (O2), dan sebagainya, biasanya dibekalkan oleh silinder gas. Tekanan gas mengurangkan injap, injap berhenti gas, saluran paip, meter aliran gas, injap solenoid, injap piezoelektrik, dan kemudian ke dalam ruang vakum. Kelebihan sistem input gas ini ialah saluran paip mudah dan jelas, dan mudah untuk membaiki atau menggantikan silinder gas. Mesin salutan tidak menjejaskan satu sama lain. Terdapat juga kes di mana mesin salutan berganda berkongsi satu set silinder gas. Keadaan ini boleh dilihat di beberapa bengkel salutan berskala besar. Kelebihannya ialah ia mengurangkan penghunian silinder gas, perancangan bersatu dan susun atur bersatu. Kelemahannya adalah disebabkan oleh peningkatan jumlah sendi, kemungkinan kebocoran udara meningkat. Selain itu, mesin salutan akan mengganggu satu sama lain, dan saluran paip satu mesin salutan boleh membocorkan udara, yang boleh menjejaskan kualiti produk mesin salutan lain. Di samping itu, apabila menggantikan silinder gas, adalah perlu untuk memastikan semua mesin berada dalam keadaan bukan gas.

6. bahagian penghantaran mekanikal

Lapisan memerlukan ketebalan pinggir mestilah seragam. Oleh itu, mesti ada tiga putaran dalam proses salutan untuk memenuhi keperluan. Iaitu, sementara jadual bahan kerja yang besar diperlukan untuk berputar (i), pembawa bahan kerja kecil juga berputar (ii), dan bahan kerja itu sendiri boleh berputar pada masa yang sama (iii). Dalam reka bentuk mekanikal, biasanya terdapat gear memandu yang besar di tengah bahagian bawah meja kerja kerja yang besar, dan beberapa roda bintang kecil dengannya. Sekiranya produk itu diputar, bahan kerja biasanya diputar oleh garpu shift.

7, bahagian pengukuran pemanasan dan suhu

Peralatan salutan umumnya mempunyai pemanas dalam kedudukan yang berbeza, dan termokopel digunakan untuk mengukur dan mengawal suhu. Walau bagaimanapun, kerana kedudukan pengapit termokopel berbeza dari kedudukan bahan kerja, bacaan suhu tidak boleh menjadi suhu sebenar bahan kerja. Untuk mengukur suhu sebenar bahan kerja, terdapat banyak kaedah, anda boleh memasang kertas ujian suhu tinggi atau meter termokopel pada bahan kerja.

8. Penyejatan Ion dan Sumber Sputtering

Sumber penyejatan penyaduran multi-arka umumnya dalam bentuk kek bulat, yang biasanya dikenali sebagai sasaran kek bulat, dan terdapat juga sasaran multi-arka segi empat tepat. Magnet dipasang di pangkalan sasaran. Dengan menggerakkan magnet ke belakang dan sebagainya, intensiti medan magnet berubah, dan kelajuan bergerak dan trajektori tempat arka dapat diselaraskan. Untuk mengurangkan suhu sasaran dan asas sasaran, asas sasaran mesti dibekalkan secara berterusan dengan air penyejuk. Untuk memastikan kekonduksian elektrik dan terma yang tinggi antara sasaran dan asas sasaran, gasket timah juga boleh ditambah antara sasaran dan asas sasaran. Salutan sputtering magnetron umumnya menggunakan katod sputtering segi empat tepat atau silinder.

9, sistem penyejukan air

Umumnya terdiri daripada menara air sejuk, mesin air ais, pam air, dll.

10, Sistem Kawalan Perindustrian

Berkongsi: