E -mel: coating@dankovac.com
Tel:+86-13486478562
Bahasa Perundingan produk
Alamat e -mel anda tidak akan diterbitkan. Bidang yang diperlukan ditandakan *
Mesin salutan vakum Terutamanya merujuk kepada jenis salutan yang perlu dijalankan di bawah vakum yang lebih tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penyejatan pemanasan rintangan vakum, penyejatan pemanasan pistol elektron, sputtering magnetron, epitaxy rasuk molekul MBE, pemendapan laser PLD, Idea utama dibahagikan kepada dua jenis penyejatan dan sputtering.
Operasi kabinet kawalan elektrik
1. Hidupkan pam air dan sumber udara.
2. Hidupkan bekalan kuasa utama.
3. Hidupkan bekalan kuasa pam penyelenggaraan dan tolok vakum, kedudukan tolok vakum v1, tunggu nilai menjadi kurang dari 10, dan kemudian masukkan langkah seterusnya. Ia mengambil masa kira -kira 5 minit.
4. Hidupkan pam mekanikal, pra-pam, hidupkan kuasa pam molekul turbo, dan mulakannya. Suis tolok vakum ditukar kepada kedudukan V2. Ia mengambil masa kira -kira 20 minit untuk mengepam kurang daripada 2.
5. Selepas memerhatikan bahawa bacaan pam turbomolekul mencapai 250, matikan pra-pam, hidupkan pam sokongan dan injap vakum yang tinggi untuk terus mengosongkan. Selepas vakum mencapai tahap tertentu, hidupkan tolok vakum yang tinggi di sebelah kanan untuk memerhatikan vakum. Hanya selepas vakum mencapai 2 × 10-3 bolehkah bekalan kuasa pistol elektron dihidupkan.
1. Hidupkan pam air dan sumber udara.
2. Hidupkan bekalan kuasa utama.
3. Hidupkan bekalan kuasa pam penyelenggaraan dan tolok vakum, kedudukan tolok vakum v1, tunggu nilai menjadi kurang dari 10, dan kemudian masukkan langkah seterusnya. Ia mengambil masa kira -kira 5 minit.
4. Hidupkan pam mekanikal, pra-pam, hidupkan kuasa pam molekul turbo, dan mulakannya. Suis tolok vakum ditukar kepada kedudukan V2. Ia mengambil masa kira -kira 20 minit untuk mengepam kurang daripada 2.
5. Selepas memerhatikan bahawa bacaan pam turbomolekul mencapai 250, matikan pra-pam, hidupkan pam sokongan dan injap vakum yang tinggi untuk terus mengosongkan. Selepas vakum mencapai tahap tertentu, hidupkan tolok vakum yang tinggi di sebelah kanan untuk memerhatikan vakum. Hanya selepas vakum mencapai 2 × 10-3 bolehkah bekalan kuasa pistol elektron dihidupkan.
Operasi DEF-6B
1. Jumlah bekalan kuasa.
2. Hidupkan kawalan senjata elektron ⅰ dan kawalan senjata elektron ⅱ Bekalan kuasa pada masa yang sama: tekan kawalan senjata elektron ⅰ bekalan kuasa, suis kelewatan, kelewatan, bekalan kuasa dan lampu perlindungan dihidupkan. Selepas tiga minit, lampu kelewatan dan perlindungan dimatikan. Jika pintu belakang tidak ditutup atau relay aliran air mengalami kegagalan, cahaya perlindungan akan sentiasa dihidupkan.
3. Apabila voltan tinggi dihidupkan, voltan tinggi akan mencapai lebih daripada 10kV, arus rasuk boleh diselaraskan kepada kira -kira 200mA, grid tirai adalah 20V/100mA, arus filamen adalah 1.2a, dan buaian semasa pesongan antara 1 dan 1.7.
Urutan penutupan
1. Matikan meter vakum yang tinggi dan pam molekul.
2. Apabila paparan pam molekul mencapai 50, matikan injap tinggi, peringkat depan, dan pam mekanikal pula. Tempoh ini mengambil masa kira -kira 40 minit.
3. Apabila di bawah 50, matikan pam penyelenggaraan lagi.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -mel: coating@dankovac.com
Address: No. 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, China
