Faktor apa yang akan mempengaruhi prestasi salutan mesin salutan vakum?

Faktor apa yang akan mempengaruhi prestasi salutan Mesin salutan vakum ?

Sekiranya mesin salutan vakum ingin melapisi filem yang baik, ia mesti memastikan bahawa banyak faktor berada dalam keadaan normal, seperti salutan vakum, jarak sasaran asas, suhu penyejatan, suhu substrat, tekanan gas sisa dan faktor lain. Terdapat sisihan dalam faktor tertentu. Ia akan menjejaskan prestasi lapisan lapisan mesin salutan vakum. Berikut adalah editor vakum untuk menerangkan secara terperinci faktor apa yang akan mempengaruhi prestasi salutan mesin salutan vakum. Saya harap ia dapat membantu anda:

1. Kadar penyejatan

Saiz kadar penyejatan mempunyai pengaruh yang besar terhadap filem yang didepositkan. Oleh kerana struktur salutan yang dibentuk oleh kadar pemendapan yang rendah adalah longgar dan mudah untuk mendepositkan zarah -zarah besar, untuk memastikan kepompatan struktur salutan, sangat selamat untuk memilih kadar penyejatan yang lebih tinggi. Apabila tekanan gas sisa dalam ruang vakum adalah malar, kadar pengeboman pengeboman substrat adalah nilai malar. Oleh itu, selepas memilih kadar pemendapan yang lebih tinggi, gas sisa yang terkandung dalam filem yang didepositkan akan dikurangkan, dengan itu mengurangkan tindak balas kimia antara molekul gas sisa dan zarah bahan filem yang disejat. Oleh itu, kesucian filem yang didepositkan dapat ditingkatkan. Harus diingat bahawa jika kadar pemendapan terlalu tinggi, ia dapat meningkatkan tekanan dalaman filem, mengakibatkan peningkatan kecacatan dalam lapisan filem, dan bahkan retak lapisan filem dalam kes -kes yang teruk. Khususnya, dalam proses penyejatan reaktif, kadar pemendapan yang lebih rendah dapat dipilih untuk membolehkan gas reaksi dan zarah bahan filem yang disejat untuk bertindak balas dengan cukup. Sudah tentu, kadar penyejatan yang berbeza harus digunakan untuk penyejatan bahan yang berbeza. Sebagai contoh praktikal bagaimana kadar pemendapan yang rendah dapat mempengaruhi prestasi filem adalah pemendapan filem reflektif. Sebagai contoh, apabila ketebalan filem adalah 600x10-8cm dan masa penyejatan adalah 3s, reflektiviti adalah 93%. Walau bagaimanapun, jika kadar penyejatan diperlahankan di bawah ketebalan filem yang sama, ia mengambil masa 10 minit untuk menyelesaikan pemendapan filem. Pada masa ini, ketebalan filem adalah sama. Walau bagaimanapun, pemantulan telah menurun kepada 68%.

2. Suhu substrat

Suhu substrat juga mempunyai kesan besar pada salutan penyejatan. Molekul gas sisa yang terserap pada permukaan substrat pada suhu substrat yang tinggi mudah dikeluarkan. Khususnya, pengecualian molekul wap air lebih penting. Selain itu, bukan sahaja mudah untuk mempromosikan peralihan dari penjerapan fizikal kepada penjerapan kimia pada suhu yang lebih tinggi, dengan itu meningkatkan daya mengikat antara zarah. Selain itu, perbezaan antara suhu penghabluran semula molekul wap dan suhu substrat dapat dikurangkan, dengan itu mengurangkan atau menghapuskan tekanan dalaman pada antara muka substrat filem. Di samping itu, kerana suhu substrat berkaitan dengan keadaan kristal filem, salutan amorf atau microcrystalline cenderung mudah dibentuk di bawah keadaan pemanasan yang rendah atau tidak pada substrat. Sebaliknya, apabila suhu lebih tinggi, mudah untuk menghasilkan salutan kristal. Meningkatkan suhu substrat juga memberi manfaat kepada peningkatan sifat mekanikal salutan. Sudah tentu, suhu substrat tidak boleh terlalu tinggi untuk mengelakkan penyambungan semula salutan yang disejat.

3. Pengaruh tekanan gas sisa dalam ruang vakum pada prestasi filem

Tekanan gas sisa dalam ruang vakum mempunyai pengaruh yang besar terhadap prestasi membran. Sekiranya tekanan terlalu tinggi, molekul gas sisa tidak hanya mudah bertembung dengan zarah -zarah yang disejat, supaya tenaga kinetik orang yang menembak pada substrat dikurangkan, yang mempengaruhi lekatan filem. Selain itu, tekanan gas sisa yang berlebihan akan menjejaskan kesucian membran dan mengurangkan prestasi salutan.

4. Kesan suhu penyejatan pada salutan penyejatan

Kesan suhu penyejatan pada prestasi filem ditunjukkan oleh kadar penyejatan sebagai fungsi suhu. Apabila suhu pengewapan tinggi, haba pengewapan akan berkurangan. Sekiranya bahan filem disejat di atas suhu penyejatan, walaupun sedikit perubahan suhu boleh menyebabkan perubahan pesat dalam kadar penyejatan bahan filem. Oleh itu, sangat penting untuk mengawal suhu penyejatan semasa pemendapan filem untuk mengelakkan kecerunan suhu yang besar apabila sumber penyejatan dipanaskan. Bagi bahan filem yang mudah untuk dilahirkan, bahan filem itu sendiri dipilih sebagai pemanas, dan langkah -langkah seperti penyejatan juga sangat penting. .

Empat aspek di atas adalah faktor umum yang mempengaruhi prestasi lapisan lapisan mesin salutan vakum, dan mereka juga merupakan faktor pengaruh konvensional. Semasa proses salutan mesin salutan vakum, adalah perlu untuk memastikan faktor -faktor ini berada dalam keadaan biasa.