Apakah perbezaan antara salutan penyejatan dan salutan sputtering？- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Apakah perbezaan antara salutan penyejatan dan salutan sputtering？

Filem penyejatan vakum adalah untuk memanaskan bahan yang akan disejat ke suhu tertentu oleh pemanasan rintangan atau rasuk elektron dan pengeboman laser dalam persekitaran dengan tahap vakum tidak kurang daripada 10-2pa, supaya tenaga getaran termal molekul atau atom dalam bahan melebihi permukaan. Oleh itu, sejumlah besar molekul atau atom disejat atau disahat, dan disimpan secara langsung pada substrat untuk membentuk filem nipis. Salutan Sputtering Ion adalah menggunakan gerakan tinggi ion positif yang dihasilkan oleh pelepasan gas di bawah tindakan medan elektrik untuk membombardir sasaran sebagai katod, supaya atom atau molekul dalam sasaran melarikan diri dan deposit di permukaan bahan kerja untuk dilapisi, membentuk filem yang diperlukan.

Kaedah yang biasa digunakan untuk salutan penyejatan vakum adalah kaedah pemanasan rintangan, yang mempunyai kelebihan struktur mudah sumber pemanasan, kos rendah dan operasi yang mudah. Pemanasan rasuk elektron dan pemanasan laser dapat mengatasi kekurangan pemanasan rintangan. Dalam pemanasan rasuk elektron, rasuk elektron yang difokuskan digunakan untuk memanaskan bahan yang dibombardir secara langsung, dan tenaga kinetik rasuk elektron menjadi tenaga terma untuk menguap bahan. Pemanasan laser menggunakan laser kuasa tinggi sebagai sumber pemanasan, tetapi disebabkan oleh kos tinggi laser kuasa tinggi, ia hanya boleh digunakan di beberapa makmal penyelidikan.

Teknologi sputtering berbeza daripada teknologi penyejatan vakum. "Sputtering" merujuk kepada fenomena di mana zarah -zarah energik membombardir permukaan badan (sasaran), menyebabkan atom pepejal atau molekul dikeluarkan dari permukaan. Daripada zarah -zarah yang dikeluarkan adalah dalam keadaan atom, sering dipanggil atom sputtered. Zarah sputtering yang digunakan untuk membombardir sasaran boleh menjadi elektron, ion atau zarah neutral, kerana ion mudah dipercepat di bawah medan elektrik untuk mendapatkan tenaga kinetik yang diperlukan, jadi ion kebanyakannya digunakan sebagai zarah pengeboman. Proses sputtering didasarkan pada pelepasan cahaya, iaitu, ion sputtering berasal dari pelepasan gas. Teknik sputtering yang berbeza menggunakan kaedah pelepasan cahaya yang berbeza. DC dua tiang sputtering menggunakan pelepasan cahaya DC; Sputtering tiga tiang menggunakan pelepasan cahaya yang disokong oleh katod panas; RF Sputtering menggunakan pelepasan cahaya frekuensi radio; Magnetron Sputtering menggunakan pelepasan cahaya di bawah kawalan medan magnet anulus. pelepasan cahaya.

Berbdaning dengan salutan penyejatan vakum, salutan sputtering mempunyai banyak kelebihan. Sebagai contoh, apa -apa bahan boleh menjadi sputtered, terutamanya unsur -unsur dan sebatian dengan titik lebur yang tinggi dan tekanan wap rendah; lekatan yang baik antara filem sputtered dan substrat; ketumpatan filem tinggi; Ketebalan filem yang dikawal dan kebolehulangan yang baik. Kelemahannya ialah peralatan lebih rumit dan memerlukan peranti voltan tinggi. Di samping itu, gabungan kaedah penyejatan dan kaedah sputtering dipanggil penyaduran ion. Kelebihan kaedah ini ialah filem yang diperolehi mempunyai lekatan yang kuat antara substrat dan substrat, dan mempunyai kadar pemendapan yang tinggi dan ketumpatan filem yang tinggi.

Ditubuhkan pada tahun 2007 sebagai nama sebelumnya teknologi vakum Huahong, profesional Pembekal Mesin Sputtering Berterusan China and Pembekal Mesin Sputtering Berterusan , termasuk tetapi tidak terhad kepada sistem sputtering, unit salutan optik, metallizer batch, sistem pemendapan wap fizikal (PVD), peralatan pemendapan lapisan vakum yang keras dan haus, kaca, PE, pelapis substrat PC, mesin roll-to-roll untuk substrat fleksibel salutan. Mesin-mesin ini digunakan untuk pelbagai aplikasi yang diterangkan di bawah (tetapi tidak terhad kepada) automotif, hiasan, salutan keras, alat pemotongan alat & logam, dan aplikasi salutan filem nipis untuk industri dan makmal termasuk universiti. Syarikat kami sangat fokus pada perkhidmatan selepas jualan di pasaran domestik dan antarabangsa, menyediakan pelan pemprosesan bahagian yang tepat dan penyelesaian profesional untuk memenuhi keperluan pelanggan.

Berkongsi: