Apakah prinsip kerja penyaduran arka katodik?

Pertama sekali, arka yang menarik jarum (anod) dengan potensi positif adalah dekat dengan sasaran (katod) dengan potensi negatif. Apabila jarak antara anod dan katod cukup kecil, gas di antara kedua -dua elektrod akan dipecahkan, membentuk arus arka, yang sama dengan arka yang menarik kimpalan elektrik. Pada masa ini, sebahagian daripada N2 diionkan untuk membentuk kation nitrogen dan elektron.

Ditarik oleh daya medan elektrik, kation nitrogen akan terbang ke katod berhampiran sasaran, dan elektron akan terbang ke jarum pencucuhan arka. Walau bagaimanapun, jisim ion jauh lebih besar daripada elektron. Oleh itu, di bawah kuasa medan elektrik yang sama, jarak pergerakan elektron akan lebih besar daripada kation. Oleh itu, apabila elektron mencapai anod, ion tidak akan mencapai sasaran katod, tetapi akan terbang ke jarum pencucuhan arka lapisan pengumpulan ion positif terbentuk berhampiran permukaan sasaran.

Jarak antara kation dan permukaan sasaran katod sangat kecil, sehingga tahap mikron. Menurut E = U / D, dapat dilihat bahawa medan elektrik di ruang tinggi pada masa ini, yang akan "menarik" elektron keluar dari sasaran. Elektron "ditarik" terbang dari sasaran katod ke lapisan pengumpulan ion positif, membentuk arus. Lapisan penyusunan dihubungkan dengan permukaan sasaran, dan arka dihasilkan berhampiran permukaan sasaran.

Pada masa yang sama, ion positif akan tertarik dengan permukaan sasaran katod, yang menjadikan ion positif membombardir permukaan sasaran dan menghasilkan sputtering. Oleh kerana zarah -zarah filem sama ada menguap atau sputtered perlu melalui lapisan pengumpulan ion positif, dan dalam proses terbang keluar dari permukaan sasaran katod, zarah -zarah filem akan dipengaruhi oleh arka di permukaan sasaran, jadi zarah -zarah yang tiba di bahan kerja adalah keadaan ionik.

Voltan bias negatif biasanya digunakan untuk bahan kerja, jadi ion positif terbang ke bahan kerja di bawah tindakan kuasa medan elektrik, dan membombardir bahan kerja Pengilang Mesin Salutan DLC . Pengeboman ini akan meningkatkan lekatan filem dan menjadikan geseran padat, yang sangat bermanfaat untuk meningkatkan kualiti filem.

Jika anda ingin mengetahui lebih lanjut, anda juga boleh menghubungi kami.

Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Sara

Telefon: 86-15867869979

E -mel: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979