Apakah prinsip kerja mesin salutan vakum？

Dalam bidang salutan, ketebalan sampel filem selepas salutan adalah faktor penting yang mempengaruhi prestasi filem. Oleh itu, apabila menilai prestasi sampel filem, adalah perlu untuk menguji prestasi sampel filem di bawah ketebalan yang berbeza. Dalam kes salutan vakum, ini sering memerlukan persediaan sampel yang banyak. Walau bagaimanapun, terdapat dua masalah dalam menyediakan sampel untuk beberapa kali: pertama, keadaan instrumen berbeza untuk sampel yang ditanam pada masa yang berlainan, supaya faktor yang mempengaruhi prestasi sampel filem mungkin bukan sahaja ketebalan; Kedua, sampel perlu dikosongkan semula dalam eksperimen salutan vakum. Mendapatkan sangat memakan masa. Meningkatkan kos pengeluaran dan ujian.

Oleh itu, sistem salutan magnetron pelbagai fungsi disediakan. Sistem ini disepadukan oleh sistem salutan vakum dan sistem kotak sarung tangan. Ia boleh melengkapkan penyejatan filem nipis dalam ruang penyejatan vakum yang tinggi dan mempunyai gas inert kesucian yang tinggi di dalam kotak sarung tangan. Penyimpanan dan penyediaan sampel dan pengesanan sampel selepas penyejatan dilakukan di atmosfera. Gabungan salutan penyejatan dan kotak sarung tangan menyadari pengeluaran penyejatan, enkapsulasi, pengujian dan proses lain yang tertutup, supaya keseluruhan proses penyediaan dan proses penyediaan yang tidak dapat dipertahankan, yang sangat disepadukan dalam sistem persiapan yang tidak dapat dipertahankan. litar.

Tujuan utama sistem salutan sputtering magnetron pelbagai fungsi: digunakan untuk menyediakan pelbagai filem logam, filem semikonduktor, filem dielektrik, filem magnetron, filem optik, filem superconducting, filem penderiaan dan pelbagai filem berfungsi khas.