Air yang disejukkan bekalan kuasa DC dengan struktur padat dapat mencapai kualiti salutan yang terbaik, sehingga dapat menggantikan bekalan kuasa nadi dalam proses sputtering magnetron.
Ciri -ciri:
• Sistem ini sangat memendekkan masa tindak balas, dan tenaga arka sisa dikurangkan kepada kadar minimum
• Walaupun dalam kadar arka yang tinggi, ia dapat memastikan bahawa filem itu nipis dan homogen.
• Tenaga sisa arka yang sangat rendah, pemulihan pantas
• Aplikasi Sputtering DC maju
• Untuk mencapai output kuasa tinggi dalam struktur padat
• Bekalan kuasa yang disejukkan air
Manfaat Pelanggan:
• Meningkatkan kecekapan pengeluaran dengan ketara
• Kualiti filem prestasi tinggi
• Lebih besar daripada bekalan kuasa 40 kW, dan integrasi sistem juga sangat mudah
• Kestabilan sistem yang tinggi dan kos penyelenggaraan yang rendah